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박막두께측정기
박막두께측정기
박막두께측정기
ST Series
박막두께측정기기 ST series는 Reflectometer방식을 이용하여 두께를 측정하는 기기로서 유기막, 무기막등 빛을 투과할 수있는 모든 박막의 두께를 측정할 수 있는 기기입낟.
Wafer.LCD.Film.CMP공정등 다양한 분야에서 사용되고 있으며 시료측정에 관한 Repeatability가 매우 높아 제품의 성능검증에 매우 유리합니다.
빠른 속도로 수Å에서 부터 수십 ㎛까지 측정할 수 있는 ST Series에 대해 제품상담을 원하시면 아래 문의 바랍니다.
문의하기: 010-2402-3091
메일문의: mtonkorea@gmail.com
ST-1000
ST-1000은 쉽고 편리하게 박막두께를 측정하는 기기입니다. 현미경을 사용하지 않기 때문에 Pattern을 측정은 불가능 합니다. 코팅된 면의 두께를 단 몇초만에 쉽고 편리하게 측정하고 싶으시다면 ST-1000을 이용하여 측정하신다면 정확한 데이터를 얻으실 수 있을 것 입니다.
ST-2000DLXn
ST-200DLXn은 광학현미경을 이용하기 때문에 원하는 부분을 측정할 수 있습니다. 또한 광학현미경을 이용하여 정확한 Focus위치를 잡을 수 있기 때문에 20nm의 작은 박막부터 측정이 가능하며 좀 더 정확한 데이터를 얻을 수 있습니다. 사용자가 원하는 정확한 위치를 측정하고 싶으시다면 ST-2000DLXn을 이용하신다면 좋은 선택이 될 것 같습니다.
ST-4000DLX
ST-400DLX는 좀 더 좋은 광학시스템을 제공하여 최소 10nm부터의 박막두께측정을 할 수 있도록 지원합니다. 또한 편리하게 제작된 Stage는 쉽게 사용자가 원하는 위치를 찾을 수 있습니다. 200x200mm의 크기를 제공하여 8인치웨이퍼도 측정이 가능합니다. 좀더 고성능의 박막두께측정을 원하신다면 ST-4000DLX는 좋은 선택이 될 것 입니다.
ST-5030SL
ST-5030SL은 좋은 광학시스템과 AutoStage를 제공하여 사용자가 쉽고 편리하게 시료의 두께를 측정할 수 있습니다. AutoStage는빠르게 표면의 두께를 측정하여 시료 전체의 두께 편차를 쉽게 알아볼 수 있도록 Data를 제공합니다. Wafer코팅의 두께 편차를 원클릭 만으로 쉽게 품질검사를 하고 싶으시다면 ST-5030SL은 좋은 선택이 될 것 입니다.
S/W 및 Application
박막두께측정기 ST시리즈는 기본적인 n,k값을 제공하며 고객이 직접 쉽게 n,k데이터를 얻으실 수도 있습니다. 만약 초보사용자로 Data값에 대한 확신이 부족하시면 본사에서는 귀사가 보내주신 Reflect Data를 이용하여 두께, 굴절율 값을 제공해 드릴 수 있습니다. ST시리즈를 통해 쉽고 편하게 두께측정 값과 굴절율 값을 얻으시길 바랍니다.
Application
Polymers :
PVA, PET, PP, PR ...
Dielectrics :
ITO.TCO...
Semiconductors :
SiO2,Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS ...
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